Schutzrechte

• Verfahren und Anordnung zur Schichtdicken- und Ätztiefenbestimmung
  
• Verfahren zur Erzeugung von Bondhügeln
  
• Beobachtungsfenster
  
• Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung additiv strukturierter zweischichtiger behügelter Trägerfilme mittels Excimerlaserstrahlbearbeitung
  
• Verfahren zur Erzeugung von lateralen Bondhügelanordnungen