Verfahren zur flächigen, strukturierten und/oder profilierten Bearbeitung von Halbleiter-, Metall- und Isolatoroberflächen Patent uri icon

Aktenzeichen

  • DD3383118

Verfahrensstand

  • Offenlegungsschrift

Schutzrecht-Status

  • nicht-anhaengig-erloschen

Anmeldetag

  • März 2, 1990

Offenlegungstag

  • August 22, 1991