Nd:YAG laser micromachining of SiC precision structures for MEMS Konferenzpaper

AutorInnen

Kreutz, E.W.
Weichenhain, R.
Horn, Alexander

Veröffentlichungszeitpunkt

2001

veröffentlicht in

Proceedings of SPIE Konferenzband

Zugangsrechte

false

Band

4407

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109

Digital Object Identifier (DOI)

https://doi.org/10.1117/12.425290

Schlagwort Lasertechnologien (falls zutreffend)