Hochrate-Bohren von Mikrolöchern in Silizium mittels UKP-Laserstrahlung Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

AutorInnen

Veröffentlichungszeitpunkt

2019

veröffentlicht in

Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung Konferenzband

Band

Nr. 1, 2019

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