Theoretical and Experimental Studies of Laser-Induced Chemical Vapor-Deposition of Silicon Thin-Films Konferenzpaper

AutorInnen

Fischer, Andreas
Reisse, G.
Gansicke, F.
Zimmer, K.

Veröffentlichungszeitpunkt

1992

veröffentlicht in

Applied Surface Science Zeitschrift

Band

54

Startseite

41

letzte Seite

45

Schlagwort Lasertechnologien (falls zutreffend)

Lasertechnik (allgemein)