Vergleich verschiedener physikalischer Modelle zur Beschreibung der polarisationsabhängigen Reflektometrie und Ellipsometrie Wissenschaftlicher Artikel uri icon

Abstract

  • Olbrich, Markus; Frank, M.; Pflug, Theo; Horn, Alexander: Vergleich verschiedener physikalischer Modelle zur Beschreibung der polarisationsabhängigen Reflektometrie und Ellipsometrie, Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung, 2 (2017), 111-114, Hochschule Mittweida, Mittweida, 2017

Veröffentlichungsjahr

  • 2017

Erscheinungsort

  • Mittweida

Heftnummer

  • 2 (2017)

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