Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser Konferenzpaper uri icon

Abstract

  • Weißmantel, Steffen; Jahn, Falko: Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser, Scientific Reports 2015, Lasertechnik, 4 (2015), 114-117, Hochschule Mittweida, Mittweida, 2015

Veröffentlichungsjahr

  • 2015

Erscheinungsort

  • Mittweida

Heftnummer

  • 4 (2015)

Startseite

  • 114

letzte Seite

  • 117