Towards Robust Visual Wafer Cleaning Anomaly Detection Sammelbandbeitrag uri icon

Abstract

  • Boiger, R.; Haenselmann, Thomas; Mücke, M.; Ringsleben, Frederic: Towards Robust Visual Wafer Cleaning Anomaly Detection, 2nd Intl. Workshop on Science, Application and Methods in Industry 4.0, Graz, Austria, 2017

Veröffentlichungszeitpunkt

  • 2017

Erscheinungsort

  • Graz, Austria