Nd:YAG laser micromachining of SiC precision structures for MEMS Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

AutorInnen

Kreutz, E.W.
Weichenhain, R.
Horn, Alexander

Veröffentlichungsjahr

2001

Beitrag veröffentlicht in

Proceedings of SPIE Konferenzband

Zugangsrechte

false

Band

4407

Startseite

109

Digital Object Identifier (DOI)

https://doi.org/10.1117/12.425290