Nd:YAG laser micromachining of SiC precision structures for MEMS Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

AutorInnen

Kreutz, E.W.
Weichenhain, R.
Horn, Alexander

Veröffentlichungszeitpunkt

2001

veröffentlicht in

Proceedings of SPIE Konferenzband

Zugangsrechte

false

Band

4407

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109

Digital Object Identifier (DOI)

https://doi.org/10.1117/12.425290