Herstellung eines Mikroaktors auf der Basis lasergestützter Strukturierung von PVD-abgeschiedenen Bimetallstrukturen Journalartikel uri icon

AutorInnen

  • Lugscheider, E.
  • Bobzin, K.
  • Erdle, A.
  • Horn, Alexander
  • Pütz, U.
  • Kreutz, E.W.
  • Poprawe, R.

Veröffentlichungszeitpunkt

  • 2004

Ausgabe

  • 6

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