Non-destructive depth reconstruction of Al-Al2Cu layer structure with nanometer resolution using extreme ultraviolet coherence tomography Journalartikel uri icon

 

AutorInnen

  • Abel, Johann J.
  • Apell, Jonathan
  • Wiesner, Felix
  • Reinhard, Julius
  • Wünsche, Martin
  • Felde, Nadja
  • Schmidl, Gabriele
  • Plentz, Jonathan
  • Paulus, Gerhard G.
  • Lippmann, Stephanie
  • Fuchs, Silvio

Veröffentlichungszeitpunkt

  • 2024

Band

  • 211

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