Towards Robust Visual Wafer Cleaning Anomaly Detection Sammelbandbeitrag

Abstract

Boiger, R.; Haenselmann, Thomas; Mücke, M.; Ringsleben, Frederic: Towards Robust Visual Wafer Cleaning Anomaly Detection, 2nd Intl. Workshop on Science, Application and Methods in Industry 4.0, Graz, Austria, 2017

AutorInnen

Boiger, R.
Haenselmann, Thomas
Mücke, M.
Ringsleben, Frederic

Veröffentlichungszeitpunkt

2017

veröffentlicht in

2nd Intl. Workshop on Science, Application and Methods in Industry 4.0 Sammelband

Erscheinungsort

Graz, Austria