Schutzrechte

• Verfahren und Anordnung zur Schichtdicken- und Ätztiefenbestimmung
  
• Vorrichtung zum Fokussieren, Aufweiten und Homogenisieren von Laserstrahlen
  
• Einrichtung zum Entfernen von Abtragsprodukten bei der abtragenden Laser-Materialbearbeitung
  
• Vorrichtung zum Aufteilen, Homogenisieren und Fokussieren von Laserstrahlen
  
• Anordnung zur Erzeugung lateraler Strukturen mit gestuftem Tiefenprofil
  
• Beobachtungsfenster
  
• Verfahren zur lokalen Vernetzung von Polymeren
  
• Vorrichtung zum Homogenisieren, Fokussieren und Aufweiten von Laserstrahlen
  
• Vorrichtung zur Hochtemperaturbearbeitung mit Laserstrahlen
  
• Vorrichtung zum Ineinanderführen und Fokussieren von Laserstrahlen