Anordnung zur Erzeugung lateraler Strukturen mit gestuftem Tiefenprofil Patent uri icon

Aktenzeichen

  • DD3380027

Verfahrensstand

  • Offenlegungsschrift

Schutzrecht-Status

  • nicht-anhaengig-erloschen

Anmeldetag

  • Februar 21, 1990

Offenlegungstag

  • März 12, 1992