Leitung von WIR! -GRAVOmer-HoluMi-3D; TP 3: Untersuchungen zum ultraschnellen 3D Mikromaterialabt Polygonspiegelscanner (U3DPoly) gefördert von Bundesministerium für Bildung und Forschung 2021 - 2023
ausgewählte Veröffentlichungen Arbeitspapier/Forschungsbericht Laserstrukturierung : (Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration; TP 5: Entwicklung neuartiger magnetoresistiver Sensoren; Teilvorhaben 1.5: Laserstrukturierung mittels fs-Abtrag und LIFT und lasergestützte Magnetisierung auf flexiblen Substraten; 2.2: Laserbearbeitung für Sensor) : Schlussbericht des Vorhabens : Spitzenforschung & Innovation in den neuen Ländern 2015 Schlussbericht des Vorhabens: Laserstrukturierung : Spitzenforschung & Innovation in den neuen Ländern ; Kompetenznetzwerk für Nanosystemintegration - Anwendung von Nanotechnologien für energieeffiziente Sensorsysteme ; Leitprojekt A: Nanoskalige Materialsysteme für die magnetische Sensorik ; Teilprojekt 2: Innovative Ansätze zur Nanostrukturierung ; Arbeitspaket 2.2 2013 Journalartikel High Throughput Laser Drilling with High Power Lasers Using a Two-Dimensional Polygon Mirror Scanner. Journal of Laser Micro/Nanoengineering. 2020 Konferenzpaper Ultraschnelle Laseroberflächenbearbeitung mit neuartigem Hochleistungslaser und Polygonscanner. Lasermagazin. 36-37. 2023 High-power nanosecond pulsed laser engraving with an ultra-high speed polygon mirror scanner. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 66-68. 2021 Laser induced crystallization of Co–Fe–B films. Scientific Reports. 14104. 2021 Laserbestrahlung als neues Verfahren zur Modifikation und Optimierung magnetischer Tunnelübergänge. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 94-99. 2021 Laserinduzierte Kristallisation dünner Co-Fe-B-Schichten. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 115-118. 2021 Die nächste Generation der Polygonscannertechnik in der Lasermaterialbearbeitung. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 201-204. 2019 High precision 3D micro processing of Molybdenum by ultrashort pulse laser ablation. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 137-140. 2017 Investigation of Laser Micro Structuring of Spintronic Stack Layers Using a Highly-Repetitive Femtosecond Laser. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 179-182. 2015 Laserstrahlmikrostrukturierung für spintronische Magnetfeldsensoren. Lasermagazin. 36-37. 2015 Micro Welding of Aluminium for Post Process Electrode Gap Reduction Using Femtosecond Laser. Proceedings of Transducers. 1354-1357. 2015 Monolithic Integration of 2D Spin Valve Magnetic Field Sensors for Angular Sensing. Materials Today: Proceedings. 4206-4211. 2015 Monolithic integration of focused 2D GMR spin valve magnetic field sensor for high-sensitivity (compass) applications (Presentation Recording). Proceedings of SPIE. 2015 Optimized Monolithic 2-D Spin-Valve Sensor for High-Sensitivity Compass Applications. IEEE Transactions on Magnetics. 1-4. 2015 Optimum Laser Exposure for Setting Exchange Bias in Spin Valve Sensors. Physics Procedia. 1192-1197. 2015 Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses. Journal of Laser Micro/Nanoengineering. 161-168. 2014 Investigation of selective realignment of the preferred magnetic direction in spin-valve layer stacks using laser radiation. Applied Surface Science. 159-162. 2014 Selective realignment of the exchange biased magnetization direction in spintronic layer stacks using continuous and pulsed laser radiation. Proceedings of SPIE. 53. 2014 Highspeed Laser Micro Processing using Ultrashort Laser Pulses. Proceedings of 6th International Congress on Laser Advanced Materials Processing. 2013 Investigation of micro structuring and magnetizing of spintronic layer stacks using laser irradiation. Proceedings of Smart Systems Integration. 2013 Untersuchungen zur selektiven Magnetisierung von spintronischen Schichtsystemen mittels Laserstrahlung. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 70-73. 2012 Lasermikrosintern – Stand und Perspektiven. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 37-43. 2009 Konferenzposter Untersuchungen zu den Belastungsgrenzen des Polyscansystems durch die genutzte Laserstrahlung. Scientific Reports 2023, 13. Mittweidaer Lasertagung. 203-208. 2023 Femtosecond laser ablation of a thin metal stack layer 2013 Investigation of laser micro structuring of spintronic stack layers using a highly - repetitive femtosecond laser 2012
Schutzrechte Verfahren und Vorrichtung zum stoffschlüssigen Verbinden von Mikrokörpern oder von auf Körpern angeordneten Dünnschichten oder von einem Mikrokörper mit einer auf einem Körper angeordneten Dünnschicht
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