Abstract
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Die Erfindung betrifft Einrichtungen zur Erzeugung von mikrostrukturierten Funktionsoberflächen auf Substraten mit wenigstens einem Laser.
Die Einrichtungen zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass die Funktionsoberflächen einfach unter Normaldruck und Luft realisierbar sind.
Dazu sind die Oberfläche des Substrats und eine Vorrichtung zur Auskopplung, Führung, Fokussierung oder Abbildung der Laserstrahlung des Lasers als Ultrakurzpulslaser mit einer Pulszeit kleiner 1 ps jeweils einzeln oder in wenigstens einer Kombination unter Normalbedingungen so angeordnet, dass die Oberfläche des Substrats zur Selbstorganisation entstehender Mikrostrukturen mehrfach selektiv mit Laserstrahlen mit einem Pulsabstand kleiner 10 μm, einer Pulsfrequenz größer 300 kHz und einer Leistung größer 1 W überfahren wird. Dabei entstehen Mikrostrukturen mit einer Dichte von 2.000 bis 20.000 Stück/mm↑2↑, einem Durchmesser von 3 bis 15 μm und einer Höhe von 3 bis 20 μm als Funktionsoberfläche.