Abstract
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Die Erfindung betrifft Verfahren und Einrichtungen zur Hochleistungs-Mikrobearbeitung eines Körpers oder einer Pulverschicht mit einem Laser hoher Brillanz und die Verwendung von Laserstrahlen hoher Brillanz zur Hochleistungs-Mikrobearbeitung. Diese zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass der Körper oder die Pulverschicht sehr schnell bearbeitbar ist.
Dazu wird über im Strahlengang nach dem Laser mit einer mittleren Leistung gleich oder größer 1 kW angeordnetem Strahlschalter, Galvoscanner, Zeilenscanner und Fokussieroptik eine Oberfläche des Körpers oder der Pulverschicht mit den durch den Zeilenscanner abgelenkten fokussierten Laserstrahlen zeilenweise beaufschlagt. Die Zeilenwechsel erfolgen mittels des Galvoscanners. Der fokussierte Laserstrahl besitzt auf der Oberfläche eine Geschwindigkeit größer 50 m/s. Der Fokus zur Mikrostrukturierung ist im Durchmesser definitionsgemäß kleiner oder gleich 100 μm. Die Einwirkzeit der Laserstrahlung auf der Oberfläche beträgt maximal 1 μs.
Dadurch ist eine um mindestens eine Größenordnung höhere Bearbeitungsgeschwindigkeit erreichbar.