Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage Equipment uri icon

Anwendungsgebiet

  • Erzeugung ultradünner dünner Schichten und Schichtsysteme mittels PLD
    stationäre Oberflächenbehandlungsmaschine

Nutzungsbedingung

  • nur von geschultem Personal zu bedienen

untergebracht in der Einrichtung