Übersicht zur Forschung Erzeugung von dünnen Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD) Lasermikrobearbeitung
Projektleitung für Untersuchungen zur Erzeugung von Mikrooptiken für die optische Datenübertragung gefördert von Bundesministerium für Bildung und Forschung 2024 - 2027 Kunststoffmetallisierung mittels laserinduzierter Aktivierung und computergestützter Prozessmodellierung (KAP) TP2 gefördert von Europäischer Sozialfonds (ESF) 2024 - 2026 Grundlagen der Wechselwirkung von hochfrequenten Pulsfolgen (Bursts) ultrakurzer Laserpulse mit Dielektrika unterschiedlicher Bandlücken gefördert von Deutsche Forschungsgemeinschaft 2023 - 2026 Laserbasierte Erzeugung und Charakterisierung von Mikrostrukturen für ZfP-Vergleichskörper "Bezzer" gefördert von Europäische Union 2023 - 2026 Validierung einer opto-akustischen Vermessungstechnik für Kompositwerkstoffe und Fertigbauteile hinsichtlich einer wirtschaftlichen Verwertung gefördert von Europäischer Sozialfonds (ESF) 2024 - 2025 Untersuchungen zur Elektrodenbeschichtung und zur Zündung von Lichtbögen in Abhängig-keit von Elektrodenaufbau, -geometrie und -anordnung gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz 2023 - 2025 LAsertechnologien für eine zukunftsorientierte und NAchhaltige sächsische Wirtschaft (LaNa-Sax), TP2 gefördert von Europäische Union 2023 - 2024 Vorhandene Laser-Infrastruktur stärken und mit der Biophotonik die Zukunft der Laserfor schung an der Hochschule Mittweida gestalten – BIOphotonik und LAsertechnologien Sachsen (BIOLASAX), Teilprojekt Laserpulsabscheidung dünner Schichten und Lasermikrostrukturierung gefördert von Deutsche Forschungsgemeinschaft 2022 - 2024 PATRIORE -Entwicklung einer Prozess-und Anlagentechnologie zur gezielten tribologischen Oberflächenfunktionalisierung mittels Femto-Pulse-Forging unter Ausschluss gesundheitsgefährdender Röntgenemissionen gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz 2022 - 2024 Wechselwirkung schneller Pulsfolgen ultrakurz gepulster Laserstrahlung im GHz-bis MHz- Bereich mit Metallen -MULTI-PULS, Teilprojekt: Lasermikromaterialbearbeitung mit schnellen Pulsfolgen im MHz-Burst-Modus gefördert von Deutsche Forschungsgemeinschaft 2021 - 2024 Innovationscluster HSMW 2023, AP09: Excimer-Laserstrukturierung mittels Mikrospiegel-Array (ELMA) gefördert von Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2023 Asphaltvermessung durch laserinduzierte Schockwellenanregung gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2020 - 2023 H.A.V.-Implantat – EndoProtect / Lasergestützte ta-C-Beschichtung und Mikrostrukturierung von Gleitpaarungen der Knieendoprothesen gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2020 - 2023 Laserpolieren von Silizium gefördert von 3D-Micromac AG 2022 Innovationsvorhaben zur Profilschärfung 2022, AP 4.8 Heteroepitaktische Erzeugung komplexer kristalliner Schichten für neuartige Batterien und Sensoren mittels Laserpulsabscheidung gefördert von Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2022 Digitale Lasertechnologien für den Ausbau der sächsischen Wirtschaft (DigiLAS-Sax), TP2 gefördert von Europäische Union 2022 Innovationscluster HSMW 2020, AP 5: Sequentielle Maskenprojektion zur Herstellung von Mikrolinsen gefördert von Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2020 - 2022 Saxony5 - TV 8 CCL8 Oberflächentechnik gefördert von Bundesministerium für Bildung und Forschung 2018 - 2022 Mikrostrukturierung und Beschichtung ausgewählter Substrate (Mibes) gefördert von Namendo Solutions AG 2014 - 2022 Transfer von Lasertechnologien in die industrielle Anwendung (TraLatech) gefördert von Europäische Union 2020 - 2022 Strukturierung von Walzbacken gefördert von EJOT SE & Co. KG 2022 EXIST-Forschungstransfer: ProTACt gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2020 - 2022 Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Hartmetall und Werkzeugstahl mit anschließender Mikrostrukturierung mittels ultrakurzer Laserpulse mit den Zielen der Optimierung der Prozesseffizienz und der tribologischen und Verschleißeigenschaften des Bauteils gefördert von Europäische Union 2019 - 2022 Vorlaufforschung Technologieentwicklung 4.0, AP 1 gefördert von Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2019 - 2021 Innovationscluster HSMW 2021, AP 9-09: Forschungsanschub zur Steigerung der Drittmittelfähigkeit der Hochschule gefördert von Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2021 Innovationscluster HSMW 2021, AP 9-15: Forschungsanschub zur Steigerung der Drittmittelfähigkeit der Hochschule gefördert von Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2021 Entwicklung innovativer Lasertechnologien für die sächsische Wirtschaft, AP 2 (Eila-Sax) gefördert von Europäische Union 2018 - 2021 Untersuchungen zur Beschichtung und Mikrostrukturierung von Endoprothesen gefördert von Atherma GmbH 2016 - 2021 Transfer der Verfahren zur Laserpulsabscheidung von dünnen Schichten und zur Lasermikrostrukturierung (TraLaSchiMi) gefördert von Europäische Union 2016 - 2020 Laserpulsabscheidung (PLD) von Multilagenschichtsystemen aus Kohlenstoff gefördert von Europäische Union 2017 - 2020 Verlängerung Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas 2) gefördert von Europäische Union 2018 - 2020 Verlängerung Ultrapräzisions-Laserbearbeitung, AP 4 (UltraLas 2) gefördert von Europäische Union 2018 - 2020 ta-C-Beschichtung von Stanzwerkzeugen (taCStanz): Laserpulsabscheidung (PLD) von ta-C-Schichten und tac-C/a-C-Mehrschichtsystemen gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2018 - 2019 Mikrostrukturierung 2 gefördert von Boegli-Cravures S.A. 2016 - 2019 QualiDetect - Messsystem zur Charakterisierung von Produkten der Lebensmittel- und Getränkeindustrie gefördert von Bundesministerium für Bildung und Forschung 2016 - 2019 Laserpulsabscheidung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten auf Fräsern (Zlink) gefördert von ZLINK 2018 Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas) gefördert von Europäische Union 2015 - 2018 F2-Lasermikrostrukturierung gefördert von 3D-Micromac AG 2014 - 2017 Entwicklung von Technologien und Anlagenkomponenten zur Laserpulsabscheidung (PLD) von homogenen partikulatfreien Schichten und Schichtsystemen unter Einsatz von Piko- und Femtosekunden-Lasern (PIKOFEMTO-PLD) gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2014 - 2017 Mikrostrukturierung gefördert von Boegli-Cravures S.A. 2015 - 2016 Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD); Untersuchung von PLD-Anlagenkomponenten und Optimierung der Eigenschaften industrierelevanter Schichtmaterialien gefördert von Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2013 - 2016 Unterstützung bei der Konzeption, der Konstruktion, der Inbetriebnahme und dem Test der PLD-Chargen-Beschichtungsanlage gefördert von CREAVAC Creative Vakuumbeschichtung GmbH 2013 - 2016 Schichtstapel und Nanokomposite aus superharten Materialien (SCHINASUMA) gefördert von Bundesministerium für Bildung und Forschung 2011 - 2016 Einsatz der Lasermikrostrukturierung für die Erzeugung von diffraktiven und refraktiven optischen Bauelementen (LAMIDIRE) gefördert von Bundesministerium für Bildung und Forschung 2011 - 2014 Wellengestützte Funktionalisierung von Schichten für Anwendungen in der flexiblen Elektronik gefördert von Freistaat Sachsen 2012 - 2014 Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme -Spintronik; Teilprojekt TF1: PLD extrem präziser Nanometerschichtstapel gefördert von Sächsische Aufbaubank 2010 - 2013 Mikrostrukturierung gefördert von Boegli-Cravures S.A. 2007 - 2012 fehlende Aktivität
Leitung von LAsertechnologien für eine zukunftsorientierte und NAchhaltige sächsische Wirtschaft (LaNa-Sax), TP1 gefördert von Europäische Union 2023 - 2025 Vorhandene Laser-Infrastruktur stärken und mit der Biophotonik die Zukunft der Laserforschung an der Hochschule Mittweida gestalten – BIOphotonik und LAsertechnologien Sachsen (BIOLASAX), Teilprojekt Biophotonik - Laseranwendung in der Biologie gefördert von Deutsche Forschungsgemeinschaft 2022 - 2024 Digitale Lasertechnologien für den Ausbau der sächsischen Wirtschaft (DigiLAS-Sax), TP1 gefördert von Europäische Union 2022
ausgewählte Veröffentlichungen Arbeitspapier/Forschungsbericht Zwischenbericht (01.-06.2022) für das Projekt Digitale Lasertechnologien für den Ausbau der sächsischen Wirtschaft (DigiLAS-Sax). 1-10. 2022 Dissertation Beiträge zur Ionen- und Lasermodifizierung dünner Schichten 1994 Journalartikel Zerstörungsfreie Bestimmung des Elastizitätsmoduls von Asphaltschichten durch laserinduzierte Signalanregung. LASER MAGAZIN. 30-31. 2024 Case study for the formation of a surface alloy on cemented tungsten carbide using ultrashort MHz to GHz burst-pulses. Applied Surface Science. 158418. 2023 Experimental study on the ablation of stainless steel using multiple ultra-short laser pulses with tunable time delays. Applied Physics A. 674. 2023 Ablation characteristics on silicon from ultrafast laser radiation containing single MHz and GHz burst pulses. Applied Physics A. 723. 2022 Study on laser ablation of glass using MHz-to-GHz burst pulses. Applied Physics A. 637. 2022 Burst mode ablation of stainless steel with tunable ultrashort laser pulses. Journal of Laser Applications. 022005. 2021 Manufacturing of high quality 3D microstructures in stainless steel with ultrashort laser pulses using different burst modes. Journal of Laser Applications. 042002. 2021 Optimization of the ablation process using ultrashort pulsed laser radiation in different burst modes. Journal of Laser Applications. 012057. 2021 Properties of boron carbide thin films deposited by pulsed laser deposition. Surface and Coatings Technology. 127480. 2021 Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Werkzeugstahl und Hartmetall mittels ultrakurzer Laserpulse im Burstbetrieb. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 61-65. 2021 Slow speed friction behaviour of a-C:H with different fs-laser micro-patterns against diamond tip in hyaluronic acid. Thin Solid Films. 138863. 2021 Surface treatment on cobalt and titanium alloys using picosecond laser pulses in burst mode. Applied Physics A. 8. 2021 X-ray generation by laser ablation using MHz to GHz pulse bursts. Journal of Laser Applications. 032014. 2021 Experimental and Theoretical Determination of the Effective Penetration Depth of Ultrafast Laser Radiation in Stainless Steel. Lasers in Manufacturing and Materials Processing. 478-495. 2020 Fundamental investigations of ultrashort pulsed laser ablation on stainless steel and cemented tungsten carbide. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 1167-1175. 2020 High-quality surface treatment using GHz burst mode with tunable ultrashort pulses. Applied Surface Science. 147270. 2020 Influence of heat accumulation during laser micromachining of CoCrMo alloy with ultrashort pulses in burst mode. Applied Physics A. 84. 2020 Laser structuring of hydrogenated DLC scaffolds: Raman spectroscopy and nanotribology. Diamond and Related Materials. 107787. 2020 Tribological behaviour of femtosecond laser micro-patterned hydrogenated DLC in dry and hyaluronic gel lubricated conditions. Surface and Coatings Technology. 126082. 2020 Laser micromachining of silicon and cemented tungsten carbide using picosecond laser pulses in burst mode: ablation mechanisms and heat accumulation. Applied Physics A. 462. 2019 Für immer dickere Schichten. Physik Journal, Best of 2018. 11-13. 2018 Ablation of steel using picosecond laser pulses in burst mode. Applied Physics A. 137. 2017 Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen. New Journal of Physics. 118. 2016 Ripple-Bildung in der Oberfläche von Metallen und Hartstoffen durch Bestrahlung mit Femtosekundenlaserstrahlpulsen. New Journal of Physics. 118. 2016 Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD). German Journal for Young Researchers, Zeitschrift für Nachwuchswissenschaftler. 12-16. 2011 MATERIALS PROCESSING: Excimer lasers boost performance of diamond-like carbon films. Laser Focus World. 2010 UV-Excimer Laser Fabrication of Super-Hard Diamond-Like Carbon Films. Advanced Materials & Processes. 23. 2010 Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Fluorlaser. Mikroproduktion. 44. 2007 Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition. Journal of Physics: Conference Series. 453. 2007 Erzeugung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten mit niedrigen inneren Spannungen durch sukzessives Laserpulsabscheiden und –tempern. Galvanotechnik. 948. 2006 Stresses in pulsed laser deposited cubic boron nitride films. Diamond and Related Materials. 1276-1280. 2002 Pulsed laser deposition of cubic boron nitride films at high growth rates. Diamond and Related Materials. 1973. 2001 Microstructure and mechanical properties of pulsed laser deposited boron nitride films. Diamond and Related Materials. 377-381. 1999 Optical and Microstructural Properties of Laser-Pulse Deposited Oxide-Films. physica status solidi (a). 461-470. 1994 Ion and Laser-Induced Modification of Optical and Structural-Properties of i-Carbon Films. Diamond and Related Materials. 1379-1386. 1993 Konferenzpaper Developing a Sequential Mask Projection Technique for Micro-Lens Generation Using Excimer Laser Micro-Structuring. Proceedings of the 12th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 21-27. 2024 Generation and Characterization of Fork Gratings in Fused Silica. Proceedings of the 11th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS. 40-45. 2023 Tribologische Untersuchungen mikrostrukturierter B4C-Schichten. Scientific Reports 2023, 13. Mittweidaer Lasertagung. 105-111. 2023 Untersuchungen zur Bestrahlung von Goldschichten mit Doppelpulsen von ultrakurz gepulster Laserstrahlung. Scientific Reports 2023, 13. Mittweidaer Lasertagung. 36-40. 2023 Untersuchungen zur Herstellung rotationssymmetrischer mikrooptischer Bauelemente auf Basis der sequentiellen Maskenprojektion. Scientific Reports 2023, 13. Mittweidaer Lasertagung. 95-100. 2023 Anwendung Ultrakurzgepulster Laserstrahlung im Werkzeug- und Formenbau. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 129-134. 2021 Duale Oberflächenbearbeitung mittels ultrakurzer Pulse im Burst Modus. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 260. 2021 Erzeugung von laserinduzierten Schockwellensignalen für die Vermessung von Asphaltkörpern. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 106-112. 2021 Grundlagen zur laserinduzierten Schockwellenanregung in Asphaltkörpern. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 147-152. 2021 Herstellung von Mikrostrukturen zur Beeinflussung des Bahndrehimpulses elektromagnetischer Strahlung. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 27-29. 2021 Laser Beam Shaping of real Beams using a Spatial Light Modulator and spatial filtering in conjunction with a Closed Loop. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 248. 2021 Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Werkzeugstahl und Hartmetall mittels ultrakurzer Laserpulse im Burstbetrieb. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 61-65. 2021 Superharte und spannungsfreie ta-C-Schichten für den Verschleißschutz – Aus dem Labor in die Praxis. Lasermagazin. 26-27. 2021 Fabrication of Micro Spiral Phase Plates in Fused Silica using F2-Laser Microstructuring. Proceedings of 8th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 114-121. 2020 Mikrooptiken für die Datenübertragung. Lasermagazin. 30-31. 2020 Ablation von Metallen und Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen: Einfluss der Pulsdauer und der Wellenlänge. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 151-145. 2019 Herstellung von Mikrozylinderlinsen und Mikrozylinderlinsenarrays in dielektrischen Materialien mittels Fluorlasermikrostrukturierung. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 31-37. 2019 Manufacturing of Cylindrical Micro Lenses and Micro Lens Arrays in Fused Silica and Borosilicate Glass using F2-Laser Microstructuring. Proceedings of 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 66-72. 2019 Manufacturing of Cylindrical Micro Lenses and Micro Lens Arrays in Fused Silica and Borosilicate Glass using F2-Laser Microstructuring. PHOTOPTICS 2019. 2019 Mikroporen auf Implantat-Material mit ultrakurzen Pulsen im Burst Modus. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 118-124. 2019 Untersuchung von laserpulsablatierten Tantal als Haftvermittler für den Einsatz von superharten Kohlenstoffschichten auf biomedizinischem Implantatmaterial. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 155-160. 2019 Solving the logarithmic Monge-Ampère equation with a RK4-algorithm for beam shaping purposes of femtosecond laser beams with a spatial light modulator. Proceedings of SPIE. 2018 Using a camera feedback loop for phase retrieval in an iterative Fourier transform algorithm to calculate beam splitter phase gratings for parallel laser microstructuring. Proceedings Volume 10519, Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIII. 2018 Vergleichende Untersuchungen zum Abtrag von Stahl und Eisen mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 104-107. 2017 F2-Lasermikrostrukturierung von Mikro-Fresnel-Linsen. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 127-130. 2017 Grundlagenuntersuchungen an dielektrischen Materialien mittels ultrakurzer Laserpulse. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 123-126. 2017 Nahfeld Strahlformung beliebiger Strahlprofile mit Hilfe der logarithmisch parabolischen Monge-Ampère-Gleichung. Scientific Reports 2017, 18. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz (NWK). 308-318. 2017 PLD-preparation of carbon based multilayered coatings. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 85-87. 2017 Ultrakurzpulslaserbeareitung von Stahl im Burst-Modus. Scientific Reports 2017, 18. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz (NWK). 245-250. 2017 Simulation der Temperaturverteilung in Gold und Platin infolge der Bestrahlung mit ultrakurzen Pulsen. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 175-178. 2015 CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 187-191. 2015 CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas. Lasermagazin. 28-29. 2015 CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 187-191. 2015 Einzelpulsabtrag von Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen unterschiedlicher Pulsdauer. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 196-200. 2015 Femtosekundenlasermikrostrukturierung mittels Phasenmaskenprojektion unter Verwendung eines Spatial Light Modulators. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 100-105. 2015 Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition (PLD) in Oxygen Atmosphere. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 128-131. 2015 Lasermikrostrukturierung ausgewählter Materialien mittels sehr kurzer Laserpulse <35 fs im Vergleich zu konventioneller Ultrakurzpulslaser-Mikrostrukturierung. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 132-135. 2015 Microstructuring of fused silica using femtosecond laser pulses of various wavelengths. Applied Physics A. 689-693. 2015 Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 167-170. 2015 Mikrostrukturierung von Stahl mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 192-195. 2015 Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 114-117. 2015 Pulsed Laser Deposition of Multilayers of Nanometer Thick Metallic Films. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 17-20. 2015 Ripple-Bildung mittels Femtosekundenlaserstrahlung auf Oberflächen von Metallen und Hartstoffen. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 106-109. 2015 Superharte ta-C Schichten und Schichtstapel. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 171-174. 2015 F2-Laser Microfabrication of Diffractive Phase Elements. Proceedings of 2nd International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 91-96. 2014 F2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen. DVS Berichte. 191-199. 2014 Herstellung von nanometerdicken metallischen Schichtstapeln für spintronische Anwendungen mittels Laserpulsabscheidung (PLD). Lasermagazin. 30-31. 2014 Ultrakurzpulslaser-Mikrobearbeitung von Metallen - Verwendung von Pikosekunden-Laserpulsen für die Bearbeitung von Stahl. DVS Berichte. 135-143. 2014 Direct laser fabrication of blaze gratings in fused silica. Applied Physics A. 61-64. 2013 3D-Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedelicher Wellenlängen. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 99-102. 2012 Anwendung von ta-C Schichten bei der spanenden Bearbeitung. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 78-82. 2012 Comparative Study on Microstructuring of Steel Using Pico- and Femtosecond Laser Pulses. Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics. 1261-1268. 2012 Fluorlasermikrostrukturierung diffraktiver optischer Elemente in Quarzglas. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 103-106. 2012 Laserpulsabscheidung von metallischen Schichten. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 74-77. 2012 Mikrostrukturierung von Stahl mit Piko- und Femtosekundenlaserpulsen. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 54-57. 2012 Auswirkungen der Laserpulsbestrahlung von c-BN-Schichten mit Photonen einer Wellenlänge von 157 nm. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 58-61. 2011 Effect of microstructured and ta-C coated glass-surfaces on cell growth. Tagungsband zur 12. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz. 35-39. 2011 Fluorlasermikrostrukturierung von Blaze-Gittern in Quarzglas. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 62-64. 2011 Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition. Proceedings of International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films. 2011 Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD). Tagungsband zur 12. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz. 17-22. 2011 Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamantschichten mittels Laserpulsabscheidung. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 65-68. 2011 Lasermikrostrukturierung mit Femtosekunden- und Fluorlaserstrahlung. New Journal of Physics. 18. 2011 Microstructuring of steel and hard metal using Femtosecond Laser Pulses. Physics Procedia. 9-11. 2011 Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung. New Journal of Physics. 20-21. 2011 Ripple-Bildung mittels Femtosekundenlaserstrahlung auf Oberflächen von Metallen, Hartstoffen und superharten, wasserstofffreien amorphen Kohlenstoffschichten. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 51-57. 2011 Schichtdickenverteilung von tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C- Schichten) unter Verwendung der Laserpulsabscheidung. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 47-50. 2011 Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C). Tagungsband zur 12. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz. 23-28. 2011 Zeitabhängige Adhäsionseffekte von Zellen auf ta-C beschichteten und mikrostrukturierten Oberflächen. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 69-71. 2011 Excimer laser deposition of super-hard coatings. Proceedings of SPIE. 110. 2010 Production of microstructures in wide-band-gap and organic materials using pulsed laser ablation at 157 nm wavelength. Applied Physics A. 491. 2010 Tribological properties of super-hard amorphous carbon (ta-C) layers microstructured by fs-laser pulses. Proceedings of Structural Materials Technology Conference. 2010 3D-Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 97-99. 2009 Excimerlasermikrostrukturierung. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 72-74. 2009 Laser Micromachining of Pyrex and Quartz Glass using Femtosecond Lasers. Tagungsband der Stuttgarter Lasertage, Standortbestimmung der Lasertechnologie in der industriellen Materialbearbeitung. 119-123. 2009 Laserpulsablation von hexagonalem Bornitrid - Charakterisierung desablatierten Teilchenstromes. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 104-107. 2009 Tribologische Untersuchungen an unstrukturierten und strukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (taC - Schichten). Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 108-111. 2009 VUV – Mikrostrukturierung von Materialien mit großer Energiebandlücke. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 75-78. 2009 Femtosekunden- und Fluorlasermikrostrukturierung von Oberflächen und dünnen diamantartigen Kohlenstoffschichten. Jahrbuch Oberflächentechnik 2008. 359-370. 2008 Mikrostrukturierung von Quarzglas und Kalziumfluorid mittels Fluorlaser. Lasermagazin. 24-25. 2008 Microstructuring of glasses and metals using fluorine and femtosecond laser pulses. Proceedings of Conference on Laser Ablation. 2007 Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C). Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 41-44. 2006 Mikrostrukturierung mittels Fluorlaser und KrF-Excimerlaser. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 31-35. 2006 VUV–Laserablation und Strukturierung bei 157 nm Wellenlänge. Lasermagazin. 26. 2006 A novel system for micromachining using F2-lasers. Proceedings of Conference on Laser Ablation. 2005 Ein neuartiges System zur Lasermikrobearbeitung bei der Wellenlänge 157nm. Lasermagazin. 28-29. 2005 Excimer-Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride-Based High-Temperature Superconducting Films. Excimer Laser Technology. 335-350. 2005 Improved Silicon Master Tools for Hot Embossing. Proceedings of Micro System Technologies. 76. 2005 Microprocessing of various materials using femtosecond laser pulses. Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics. 598. 2005 Mikrostrukturierung von Quarzglas mit Femtosekundenlaser. Lasermagazin. 15. 2005 Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition. Proceedings of Conference on Laser Ablation. 2005 Laser micromachining of Pyrex and quartz glass using Femtosecond-lasers. Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics. 2004 Preparation of super-hard coatings by pulsed laser deposition. Applied Physics A. 1275-1278. 2004 Preparation of superhard amorphous carbon films with low internal stress. Surface and Coatings Technology. 268. 2004 Superhart dank Laserpuls. Werkzeug und Formenbau. 38. 2004 Abbau innerer Spannung von superharten diamantartigen Kohlenstoffschichten durch Laserpulsbestrahlung. Lasermagazin. 29. 2003 Erzeugung und Eigenschaften von spannungsfreien ultraharten Kohlenstoffschichten. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 108. 2003 Preparation and properties of pulsed laser deposited diamond-like cabon films. Thin Solid Films. 2003 Laserpulsabscheidung dünner Schichten - Verfahrensmerkmale und Anwendungsmöglichkeiten. Lasermagazin. 23. 2002 Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten bei hohen Energiefluenzen. Lasermagazin. 29. 2002 Magnetic field assisted increase of growth rate and reduction of particulate incorporation in pulsed laser deposited boron nitride films. Applied Surface Science. 494-498. 2002 Pulsed laser deposition of adherent hexagonal / cubic boron nitride layer systems at high growth rates. Applied Surface Science. 331-337. 2002 YoungYoung’s modulus and density of nanocrystalline cubic boron nitride films determined by dispersion of surface acoustic waves. Applied Physics A. 41-45. 2002 Aufbau eines Lasermikrobearbeitungszentrums (LµZ) für die Region Mittelsachsen. Lasermagazin. 19. 2001 In-situ Spannungsmessungen an Hartstoffschichten. Lasermagazin. 39. 2001 Magnetfeldgestützte Laserpulsabscheidung von Bornitridschichten. 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Mittweidaer Lasertagung. 2021 Vergleichende Untersuchungen zum Abtrag von Stahl und Eisen mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus 2017 Multi-Burst Mode Picosecond Laser Processing of Steel 2014 Sammelbandbeitrag Direct Laser Fabrication of Cylindrical Lenses in Wide Band Gap Materials. EPJ Web of Conferences. 03001. 2019 Investigation on the Ablation of thin Metal Films with Femtosecond to Picosecond-pulsed Laser Radiation. Physics Procedia. 93-103. 2016 Zeitschrift UV-Excimerlaser zur gepulsten Laserabscheidung von Hartschichten. Analytik NEWS. 2019
betreut/e wissenschaftliche Arbeit Promotion Laserstrukturierung von Mikroprägewerkzeugen und Abformung beugungsoptisch wirksamer Gitterstrukturen bearbeitet durch Engel, Andy 2013 - 2020 Promotion von Katja Günther bearbeitet durch Günther, Katja 2013 - 2014 Lasermikrostrukturierung von hochlegiertem Stahl - Grundlagenuntersuchungen zum Einsatz hochfrequenter Pulsfolgen ultrakurzer Laserpulse bearbeitet durch Metzner, Daniel - 2023
hat Großgeräte Beschichtungsanlage CREAMET 800PLD/LSR Beschichtungsapparat Laser-PVD Diffraktometer Digitales Mikroskop VHX-100K mit Kamera Dünnschichtmesssystem, mechanisch Excimerlaser LPX PRO 305 >F< 400V Excimerlaser LPX Pro 305 F 400VAC FS-Laser-Mikromaterialbearbeitungsstation CPA 2010 FilmDoctor Studio ISA Edition Fluor-Laser-Bearbeitungsstation Frequenzvervielfacher Cool Blue von Clark-MXR Inc. HV Roboterarm Hochleistungs-Excimerlaser-System Konfokalmikroskop LPXpro Laser Laser-Mikrobearbeitungsstation Laser-Scanning-Mikroskop Olympus LEXT OLS4100 Level-AFM System Low Budget Nanoindenter (LBI) Optiksystem Photo-Spektrometersystem UV-VIS-NIR-MIR Positionierungs- u. Bewegungssystem f. UKP Laser Ramanspektrometer BWS415-532S RevetestScratch Tester Tribometer TRB-S-DE-0001 Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage VibroFlex Laservibrometer
Schutzrechte Anordnung zur Gütesteuerung von Lasern Optischer Multiplexer zur optischen Datenübertragung mittels optischer Signale über eine mit dem Multiplexer verbundene Multimodefaser Verwendung eines im Burst-Modus betriebenen Lasers und Verfahren zur oberflächlichen Ausbildung einer Legierung und/oder eines Gemenges und/oder einer Dotierung Verfahren zur Oberflächenvergrößerung wenigstens eines Bereichs einer Oberfläche eines Festkörpers oder einer Schicht auf einem Festkörper Verfahren zur Entfernung von Schmutzablagerungen an wenigstens einer geometrischen und mittels einer Mikrotechnik und/oder Nanotechnik hergestellten Struktur wenigstens eines Körpers und Verwendung eines ultrakurz gepulsten Lasers mit Pulsen im Burst-Modus Vorrichtung für die Lasermaterialbearbeitung Einrichtung und Verfahren zur berührungslosen Bestimmung des Zustandes der Asphaltbefestigung von Fahrbahnen Verfahren zum Glätten wenigstens eines Bereichs einer Oberfläche eines Körpers sowie Verwendung eines im Burst-Modus betriebenen Lasers zum Glätten Verfahren und Einrichtung zum Einbringen wenigstens einer Vertiefung in einem Körper zur Beeinflussung optischer Signale und/oder von Licht und Körper mit wenigstens einer derartigen Vertiefung Optischer Multiplexer zur optischen Datenübertragung mittels optischer Signale über eine mit dem Multiplexer verbundene Multimodefaser