Weißmantel, Steffen

Prof. Dr. rer. nat.

Positionen

Professor, Fachgruppe Physik und Lasertechnik, Fachgebiet Physik, Fakultät Ingenieurwissenschaften

Forschungsgebiete

* Erzeugung von dünnen Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD) * Lasermikrobearbeitung

Forschungsschwerpunkt

Lasertechnologien Forschungsschwerpunkt

Projektleitung

LAsertechnologien für eine zukunftsorientierte und NAchhaltige sächsische Wirtschaft (LaNa-Sax), TP2 finanziert durch Europäische Union 2023 - 2025
Vorhandene Laser-Infrastruktur stärken und mit der Biophotonik die Zukunft der Laserfor schung an der Hochschule Mittweida gestalten – BIOphotonik und LAsertechnologien Sachsen (BIOLASAX), Teilprojekt Laserpulsabscheidung dünner Schichten und Lasermikrostrukturierung finanziert durch Deutsche Forschungsgemeinschaft 2022 - 2024
PATRIORE -Entwicklung einer Prozess-und Anlagentechnologie zur gezielten tribologischen Oberflächenfunktionalisierung mittels Femto-Pulse-Forging unter Ausschluss gesundheitsgefährdender Röntgenemissionen finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz 2022 - 2024
Wechselwirkung schneller Pulsfolgen ultrakurz gepulster Laserstrahlung im GHz-bis MHz- Bereich mit Metallen -MULTI-PULS, Teilprojekt: Lasermikromaterialbearbeitung mit schnellen Pulsfolgen im MHz-Burst-Modus finanziert durch Deutsche Forschungsgemeinschaft 2021 - 2024
Asphaltvermessung durch laserinduzierte Schockwellenanregung finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2020 - 2023
Digitale Lasertechnologien für den Ausbau der sächsischen Wirtschaft (DigiLAS-Sax), TP2 finanziert durch Europäische Union 2021 - 2023
Innovationsvorhaben zur Profilschärfung 2022, AP 4.8 Heteroepitaktische Erzeugung komplexer kristalliner Schichten für neuartige Batterien und Sensoren mittels Laserpulsabscheidung finanziert durch Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2022
Innovationscluster HSMW 2020, AP 5: Sequentielle Maskenprojektion zur Herstellung von Mikrolinsen finanziert durch Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2020 - 2022
Saxony5 - TV 8 CCL8 Oberflächentechnik 2018 - 2022
Transfer von Lasertechnologien in die industrielle Anwendung (TraLatech) finanziert durch Europäische Union 2019 - 2022
H.A.V.-Implantat – EndoProtect / Lasergestützte ta-C-Beschichtung und Mikrostrukturierung von Gleitpaarungen der Knieendoprothesen finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2020 - 2022
EXIST-Forschungstransfer: ProTACt finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2020 - 2022
Strukturierung von Walzbacken 2022
Strukturierung von Walzbacken 2022
Vorlaufforschung Technologieentwicklung 4.0, AP 1 finanziert durch Sächsisches Staatsministerium für Wissenschaft, Kultur und Tourismus 2019 - 2021
Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Hartmetall und Werkzeugstahl mit anschließender Mikrostrukturierung mittels ultrakurzer Laserpulse mit den Zielen der Optimierung der Prozesseffizienz und der tribologischen und Verschleißeigenschaften des Bauteils finanziert durch Europäische Union 2019 - 2021
Innovationscluster HSMW 2021, AP 9-09: Forschungsanschub zur Steigerung der Drittmittelfähigkeit der Hochschule 2021
Innovationscluster HSMW 2021, AP 9-15: Forschungsanschub zur Steigerung der Drittmittelfähigkeit der Hochschule 2021
Entwicklung innovativer Lasertechnologien für die sächsische Wirtschaft, AP 2 (Eila-Sax) finanziert durch Europäische Union 2018 - 2021
Laserpulsabscheidung (PLD) von Multilagenschichtsystemen aus Kohlenstoff finanziert durch Europäische Union 2017 - 2020
Verlängerung Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas 2) finanziert durch Europäische Union 2018 - 2020
Verlängerung Ultrapräzisions-Laserbearbeitung, AP 4 (UltraLas 2) finanziert durch Europäische Union 2018 - 2020
Transfer der Verfahren zur Laserpulsabscheidung von dünnen Schichten und zur Lasermikrostrukturierung (TraLaSchiMi) finanziert durch Europäische Union 2016 - 2019
QualiDetect - Messsystem zur Charakterisierung von Produkten der Lebensmittel- und Getränkeindustrie finanziert durch Bundesministerium für Bildung und Forschung 2016 - 2019
Untersuchungen zur Beschichtung und Mikrostrukturierung von Endoprothesen 2016 - 2019
ta-C-Beschichtung von Stanzwerkzeugen (taCStanz): Laserpulsabscheidung (PLD) von ta-C-Schichten und tac-C/a-C-Mehrschichtsystemen finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2018
Laserpulsabscheidung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten auf Fräsern (Zlink) 2018
Ultrapräzisions-Laserbearbeitung (UltraLas) finanziert durch Europäische Union 2015 - 2018
Mikrostrukturierung 2 2016
Entwicklung von Technologien und Anlagenkomponenten zur Laserpulsabscheidung (PLD) von homogenen partikulatfreien Schichten und Schichtsystemen unter Einsatz von Piko- und Femtosekunden-Lasern (PIKOFEMTO-PLD) finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2014 - 2016
Mikrostrukturierung 2015
Mikrostrukturierung und Beschichtung ausgewählter Substrate (Mibes) 2014 - 2015
Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD); Untersuchung von PLD-Anlagenkomponenten und Optimierung der Eigenschaften industrierelevanter Schichtmaterialien finanziert durch Bundesministerium für Wirtschaft und Energie 2013 - 2015
Einsatz der Lasermikrostrukturierung für die Erzeugung von diffraktiven und refraktiven optischen Bauelementen (LAMIDIRE) finanziert durch Bundesministerium für Bildung und Forschung 2011 - 2014
Wellengestützte Funktionalisierung von Schichten für Anwendungen in der flexiblen Elektronik finanziert durch Freistaat Sachsen 2012 - 2014
Schichtstapel und Nanokomposite aus superharten Materialien (SCHINASUMA) finanziert durch Bundesministerium für Bildung und Forschung 2011 - 2014
F2-Lasermikrostrukturierung 2014
Unterstützung bei der Konzeption, der Konstruktion, der Inbetriebnahme und dem Test der PLD-Chargen-Beschichtungsanlage 2013 - 2014
Mikro- und Nanostrukturierung von Quarzglas und Calciumdifluorid mittels Laserstrahlung der Wellenlänge 157 nm - von den Grundlagen der Wechselwirkung zwischen Laserstrahlung und Festkörper bis zur Erzeugung von praxisrelevanten Bauelementen finanziert durch Europäische Union 2011 - 2014
Erzeugung und Untersuchung spintronischer Schichtsysteme -Spintronik; Teilprojekt TF1: PLD extrem präziser Nanometerschichtstapel finanziert durch Sächsische Aufbaubank 2010 - 2013
Mikrostrukturierung 2007 - 2012

Projektmitgliedschaft

LAsertechnologien für eine zukunftsorientierte und NAchhaltige sächsische Wirtschaft (LaNa-Sax), TP1 finanziert durch Europäische Union 2023 - 2025
Vorhandene Laser-Infrastruktur stärken und mit der Biophotonik die Zukunft der Laserforschung an der Hochschule Mittweida gestalten – BIOphotonik und LAsertechnologien Sachsen (BIOLASAX), Teilprojekt Biophotonik - Laseranwendung in der Biologie finanziert durch Deutsche Forschungsgemeinschaft 2022 - 2024
Digitale Lasertechnologien für den Ausbau der sächsischen Wirtschaft (DigiLAS-Sax), TP1 finanziert durch Europäische Union 2021 - 2023

ausgewählte Publikationen

Arbeitspapier/Forschungsbericht
- Zwischenbericht (01.-06.2022) für das Projekt Digitale Lasertechnologien für den Ausbau der sächsischen Wirtschaft (DigiLAS-Sax). 1-10. 2022
Dissertation
- Beiträge zur Ionen- und Lasermodifizierung dünner Schichten 1994
Journalartikel
- Ablation characteristics on silicon from ultrafast laser radiation containing single MHz and GHz burst pulses. Applied Physics A. 723. 2022
- Study on laser ablation of glass using MHz-to-GHz burst pulses. Applied Physics A. 637. 2022
- Manufacturing of high quality 3D microstructures in stainless steel with ultrashort laser pulses using different burst modes. Journal of Laser Applications. 042002. 2021
- Properties of boron carbide thin films deposited by pulsed laser deposition. Surface and Coatings Technology. 127480. 2021
- Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Werkzeugstahl und Hartmetall mittels ultrakurzer Laserpulse im Burstbetrieb. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 61-65. 2021
- Slow speed friction behaviour of a-C:H with different fs-laser micro-patterns against diamond tip in hyaluronic acid. Thin Solid Films. 138863. 2021
- Burst mode ablation of stainless steel with tunable ultrashort laser pulses. Journal of Laser Applications. 022005. 2021
- Optimization of the ablation process using ultrashort pulsed laser radiation in different burst modes. Journal of Laser Applications. 012057. 2021
- Surface treatment on cobalt and titanium alloys using picosecond laser pulses in burst mode. Applied Physics A. 8. 2021
- Experimental and Theoretical Determination of the Effective Penetration Depth of Ultrafast Laser Radiation in Stainless Steel. Lasers in Manufacturing and Materials Processing. 478-495. 2020
- Fundamental investigations of ultrashort pulsed laser ablation on stainless steel and cemented tungsten carbide. The International Journal of Advanced Manufacturing Technology. 1167-1175. 2020
- High-quality surface treatment using GHz burst mode with tunable ultrashort pulses. Applied Surface Science. 147270. 2020
- Influence of heat accumulation during laser micromachining of CoCrMo alloy with ultrashort pulses in burst mode. Applied Physics A. 84. 2020
- Laser structuring of hydrogenated DLC scaffolds: Raman spectroscopy and nanotribology. Diamond and Related Materials. 107787. 2020
- Tribological behaviour of femtosecond laser micro-patterned hydrogenated DLC in dry and hyaluronic gel lubricated conditions. Surface and Coatings Technology. 126082. 2020
- Laser micromachining of silicon and cemented tungsten carbide using picosecond laser pulses in burst mode: ablation mechanisms and heat accumulation. Applied Physics A. 462. 2019
- Für immer dickere Schichten. Physik Journal, Best of 2018. 11-13. 2018
- Ablation of steel using picosecond laser pulses in burst mode. Applied Physics A. 137. 2017
- Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen. New Journal of Physics. 118. 2016
- Ripple-Bildung in der Oberfläche von Metallen und Hartstoffen durch Bestrahlung mit Femtosekundenlaserstrahlpulsen. New Journal of Physics. 118. 2016
- Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD). German Journal for Young Researchers, Zeitschrift für Nachwuchswissenschaftler. 12-16. 2011
- MATERIALS PROCESSING: Excimer lasers boost performance of diamond-like carbon films. Laser Focus World. 2010
- UV-Excimer Laser Fabrication of Super-Hard Diamond-Like Carbon Films. Advanced Materials & Processes. 23. 2010
- Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Fluorlaser. Mikroproduktion. 44. 2007
- Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition. Journal of Physics: Conference Series. 453. 2007
- Erzeugung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten mit niedrigen inneren Spannungen durch sukzessives Laserpulsabscheiden und –tempern. Galvanotechnik. 948. 2006
- Stresses in pulsed laser deposited cubic boron nitride films. Diamond and Related Materials. 1276-1280. 2002
- Pulsed laser deposition of cubic boron nitride films at high growth rates. Diamond and Related Materials. 1973. 2001
- Microstructure and mechanical properties of pulsed laser deposited boron nitride films. Diamond and Related Materials. 377-381. 1999
- Optical and Microstructural Properties of Laser-Pulse Deposited Oxide-Films. physica status solidi (a). 461-470. 1994
- Ion and Laser-Induced Modification of Optical and Structural-Properties of i-Carbon Films. Diamond and Related Materials. 1379-1386. 1993
Konferenzpaper
- Anwendung Ultrakurzgepulster Laserstrahlung im Werkzeug- und Formenbau. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 129-134. 2021
- Duale Oberflächenbearbeitung mittels ultrakurzer Pulse im Burst Modus. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 260. 2021
- Erzeugung von laserinduzierten Schockwellensignalen für die Vermessung von Asphaltkörpern. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 106-112. 2021
- Grundlagen zur laserinduzierten Schockwellenanregung in Asphaltkörpern. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 147-152. 2021
- Herstellung von Mikrostrukturen zur Beeinflussung des Bahndrehimpulses elektromagnetischer Strahlung. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 27-29. 2021
- Laser Beam Shaping of real Beams using a Spatial Light Modulator and spatial filtering in conjunction with a Closed Loop. Innovative Verfahren der Lasermaterialbearbeitung, DVS Berichte. 248. 2021
- Qualitätsoptimierter Hochrateabtrag von Werkzeugstahl und Hartmetall mittels ultrakurzer Laserpulse im Burstbetrieb. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 61-65. 2021
- Superharte und spannungsfreie ta-C-Schichten für den Verschleißschutz – Aus dem Labor in die Praxis. Lasermagazin. 26-27. 2021
- X-ray generation by laser ablation using MHz to GHz pulse bursts. Journal of Laser Applications. 032014. 2021
- Fabrication of Micro Spiral Phase Plates in Fused Silica using F2-Laser Microstructuring. Proceedings of 8th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 114-121. 2020
- Mikrooptiken für die Datenübertragung. Lasermagazin. 30-31. 2020
- Ablation von Metallen und Silizium mit ultrakurzen Laserpulsen: Einfluss der Pulsdauer und der Wellenlänge. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 151-145. 2019
- Herstellung von Mikrozylinderlinsen und Mikrozylinderlinsenarrays in dielektrischen Materialien mittels Fluorlasermikrostrukturierung. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 31-37. 2019
- Manufacturing of Cylindrical Micro Lenses and Micro Lens Arrays in Fused Silica and Borosilicate Glass using F2-Laser Microstructuring. Proceedings of 7th International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 66-72. 2019
- Mikroporen auf Implantat-Material mit ultrakurzen Pulsen im Burst Modus. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 118-124. 2019
- Untersuchung von laserpulsablatierten Tantal als Haftvermittler für den Einsatz von superharten Kohlenstoffschichten auf biomedizinischem Implantatmaterial. Scientific Reports 2019, 11. Mittweidaer Lasertagung. 155-160. 2019
- Manufacturing of Cylindrical Micro Lenses and Micro Lens Arrays in Fused Silica and Borosilicate Glass using F2-Laser Microstructuring. PHOTOPTICS 2019. 2019
- Solving the logarithmic Monge-Ampère equation with a RK4-algorithm for beam shaping purposes of femtosecond laser beams with a spatial light modulator. Proceedings of SPIE. 2018
- Using a camera feedback loop for phase retrieval in an iterative Fourier transform algorithm to calculate beam splitter phase gratings for parallel laser microstructuring. Proceedings Volume 10519, Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXIII. 2018
- Vergleichende Untersuchungen zum Abtrag von Stahl und Eisen mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 104-107. 2017
- F2-Lasermikrostrukturierung von Mikro-Fresnel-Linsen. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 127-130. 2017
- Grundlagenuntersuchungen an dielektrischen Materialien mittels ultrakurzer Laserpulse. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 123-126. 2017
- Nahfeld Strahlformung beliebiger Strahlprofile mit Hilfe der logarithmisch parabolischen Monge-Ampère-Gleichung. Scientific Reports 2017, 18. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz (NWK). 308-318. 2017
- PLD-preparation of carbon based multilayered coatings. Scientific Reports 2017, 10. Mittweidaer Lasertagung. 85-87. 2017
- Ultrakurzpulslaserbeareitung von Stahl im Burst-Modus. Scientific Reports 2017, 18. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz (NWK). 245-250. 2017
- Simulation der Temperaturverteilung in Gold und Platin infolge der Bestrahlung mit ultrakurzen Pulsen. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 175-178. 2015
- CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 187-191. 2015
- CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas. Lasermagazin. 28-29. 2015
- CO2-Laserglättung von diffraktiven Phasenelementen in Quarzglas. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 187-191. 2015
- Einzelpulsabtrag von Metallschichten mit ultrakurzen Laserpulsen unterschiedlicher Pulsdauer. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 196-200. 2015
- Femtosekundenlasermikrostrukturierung mittels Phasenmaskenprojektion unter Verwendung eines Spatial Light Modulators. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 100-105. 2015
- Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition (PLD) in Oxygen Atmosphere. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 128-131. 2015
- Lasermikrostrukturierung ausgewählter Materialien mittels sehr kurzer Laserpulse <35 fs im Vergleich zu konventioneller Ultrakurzpulslaser-Mikrostrukturierung. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 132-135. 2015
- Microstructuring of fused silica using femtosecond laser pulses of various wavelengths. Applied Physics A. 689-693. 2015
- Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedlicher Wellenlängen. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 167-170. 2015
- Mikrostrukturierung von Stahl mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 192-195. 2015
- Mikrostrukturierung von tetraedrisch amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) mittels 248 nm KrF-Excimerlaser. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 114-117. 2015
- Pulsed Laser Deposition of Multilayers of Nanometer Thick Metallic Films. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 17-20. 2015
- Ripple-Bildung mittels Femtosekundenlaserstrahlung auf Oberflächen von Metallen und Hartstoffen. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 106-109. 2015
- Superharte ta-C Schichten und Schichtstapel. Scientific Reports 2015, Lasertechnik. 171-174. 2015
- F2-Laser Microfabrication of Diffractive Phase Elements. Proceedings of 2nd International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology. 91-96. 2014
- F2-Lasermikrostrukturierung von diffraktiven Phasenelementen. DVS Berichte. 191-199. 2014
- Herstellung von nanometerdicken metallischen Schichtstapeln für spintronische Anwendungen mittels Laserpulsabscheidung (PLD). Lasermagazin. 30-31. 2014
- Ultrakurzpulslaser-Mikrobearbeitung von Metallen - Verwendung von Pikosekunden-Laserpulsen für die Bearbeitung von Stahl. DVS Berichte. 135-143. 2014
- Direct laser fabrication of blaze gratings in fused silica. Applied Physics A. 61-64. 2013
- 3D-Mikrostrukturierung von Quarzglas mittels Femtosekundenlaserstrahlung unterschiedelicher Wellenlängen. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 99-102. 2012
- Anwendung von ta-C Schichten bei der spanenden Bearbeitung. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 78-82. 2012
- Comparative Study on Microstructuring of Steel Using Pico- and Femtosecond Laser Pulses. Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics. 1261-1268. 2012
- Fluorlasermikrostrukturierung diffraktiver optischer Elemente in Quarzglas. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 103-106. 2012
- Laserpulsabscheidung von metallischen Schichten. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 74-77. 2012
- Mikrostrukturierung von Stahl mit Piko- und Femtosekundenlaserpulsen. Scientific Reports 2012, Lasertechnik. 54-57. 2012
- Auswirkungen der Laserpulsbestrahlung von c-BN-Schichten mit Photonen einer Wellenlänge von 157 nm. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 58-61. 2011
- Effect of microstructured and ta-C coated glass-surfaces on cell growth. Tagungsband zur 12. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz. 35-39. 2011
- Fluorlasermikrostrukturierung von Blaze-Gittern in Quarzglas. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 62-64. 2011
- Fundamental Studies on the Deposition of Nanocrystalline Diamond (n-D) Films by Means of Pulsed Laser Deposition. Proceedings of International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films. 2011
- Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamant - Schichten mittels Laserpulsabscheidung (PLD). Tagungsband zur 12. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz. 17-22. 2011
- Grundlegende Untersuchungen zur Erzeugung von nano-kristallinen Diamantschichten mittels Laserpulsabscheidung. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 65-68. 2011
- Lasermikrostrukturierung mit Femtosekunden- und Fluorlaserstrahlung. New Journal of Physics. 18. 2011
- Microstructuring of steel and hard metal using Femtosecond Laser Pulses. Physics Procedia. 9-11. 2011
- Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung. New Journal of Physics. 20-21. 2011
- Ripple-Bildung mittels Femtosekundenlaserstrahlung auf Oberflächen von Metallen, Hartstoffen und superharten, wasserstofffreien amorphen Kohlenstoffschichten. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 51-57. 2011
- Schichtdickenverteilung von tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C- Schichten) unter Verwendung der Laserpulsabscheidung. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 47-50. 2011
- Tribologische Eigenschaften von mikrostrukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C). Tagungsband zur 12. Nachwuchswissenschaftlerkonferenz. 23-28. 2011
- Zeitabhängige Adhäsionseffekte von Zellen auf ta-C beschichteten und mikrostrukturierten Oberflächen. Scientific Reports 2011, Workshop der ESF-Nachwuchsforschergruppen ZKProSachs und LAMIS. 69-71. 2011
- Excimer laser deposition of super-hard coatings. Proceedings of SPIE. 110. 2010
- Production of microstructures in wide-band-gap and organic materials using pulsed laser ablation at 157 nm wavelength. Applied Physics A. 491. 2010
- Tribological properties of super-hard amorphous carbon (ta-C) layers microstructured by fs-laser pulses. Proceedings of Structural Materials Technology Conference. 2010
- 3D-Mikrostrukturierung von Metallen und Hartstoffen mit Femtosekundenlaserstrahlung. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 97-99. 2009
- Excimerlasermikrostrukturierung. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 72-74. 2009
- Laser Micromachining of Pyrex and Quartz Glass using Femtosecond Lasers. Tagungsband der Stuttgarter Lasertage, Standortbestimmung der Lasertechnologie in der industriellen Materialbearbeitung. 119-123. 2009
- Laserpulsablation von hexagonalem Bornitrid - Charakterisierung desablatierten Teilchenstromes. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 104-107. 2009
- Tribologische Untersuchungen an unstrukturierten und strukturierten tetraedrisch gebundenen amorphen Kohlenstoffschichten (taC - Schichten). Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 108-111. 2009
- VUV – Mikrostrukturierung von Materialien mit großer Energiebandlücke. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 75-78. 2009
- Femtosekunden- und Fluorlasermikrostrukturierung von Oberflächen und dünnen diamantartigen Kohlenstoffschichten. Jahrbuch Oberflächentechnik 2008. 359-370. 2008
- Mikrostrukturierung von Quarzglas und Kalziumfluorid mittels Fluorlaser. Lasermagazin. 24-25. 2008
- Microstructuring of glasses and metals using fluorine and femtosecond laser pulses. Proceedings of Conference on Laser Ablation. 2007
- Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C). Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 41-44. 2006
- Mikrostrukturierung mittels Fluorlaser und KrF-Excimerlaser. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 31-35. 2006
- VUV–Laserablation und Strukturierung bei 157 nm Wellenlänge. Lasermagazin. 26. 2006
- A novel system for micromachining using F2-lasers. Proceedings of Conference on Laser Ablation. 2005
- Ein neuartiges System zur Lasermikrobearbeitung bei der Wellenlänge 157nm. Lasermagazin. 28-29. 2005
- Excimer-Laser Assisted Deposition of Carbon and Boron Nitride-Based High-Temperature Superconducting Films. Excimer Laser Technology. 335-350. 2005
- Improved Silicon Master Tools for Hot Embossing. Proceedings of Micro System Technologies. 76. 2005
- Microprocessing of various materials using femtosecond laser pulses. Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics. 598. 2005
- Mikrostrukturierung von Quarzglas mit Femtosekundenlaser. Lasermagazin. 15. 2005
- Reduction of particulate density in BN films prepared by pulsed laser deposition. Proceedings of Conference on Laser Ablation. 2005
- Laser micromachining of Pyrex and quartz glass using Femtosecond-lasers. Proceedings of International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics. 2004
- Preparation of super-hard coatings by pulsed laser deposition. Applied Physics A. 1275-1278. 2004
- Preparation of superhard amorphous carbon films with low internal stress. Surface and Coatings Technology. 268. 2004
- Superhart dank Laserpuls. Werkzeug und Formenbau. 38. 2004
- Abbau innerer Spannung von superharten diamantartigen Kohlenstoffschichten durch Laserpulsbestrahlung. Lasermagazin. 29. 2003
- Erzeugung und Eigenschaften von spannungsfreien ultraharten Kohlenstoffschichten. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 108. 2003
- Preparation and properties of pulsed laser deposited diamond-like cabon films. Thin Solid Films. 2003
- Laserpulsabscheidung dünner Schichten - Verfahrensmerkmale und Anwendungsmöglichkeiten. Lasermagazin. 23. 2002
- Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten bei hohen Energiefluenzen. Lasermagazin. 29. 2002
- Magnetic field assisted increase of growth rate and reduction of particulate incorporation in pulsed laser deposited boron nitride films. Applied Surface Science. 494-498. 2002
- Pulsed laser deposition of adherent hexagonal / cubic boron nitride layer systems at high growth rates. Applied Surface Science. 331-337. 2002
- YoungYoung’s modulus and density of nanocrystalline cubic boron nitride films determined by dispersion of surface acoustic waves. Applied Physics A. 41-45. 2002
- Aufbau eines Lasermikrobearbeitungszentrums (LµZ) für die Region Mittelsachsen. Lasermagazin. 19. 2001
- In-situ Spannungsmessungen an Hartstoffschichten. Lasermagazin. 39. 2001
- Magnetfeldgestützte Laserpulsabscheidung von Bornitridschichten. Lasermagazin. 23. 2001
- Ionengestützte Laserpulsabscheidung von kubischen Bornitridschichten. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 157-269. 2000
- Laserpulsabscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten. Lasermagazin. 19. 2000
- Properties of ion-assisted pulsed laser deposited h-BN/c-BN layer systems. Applied Surface Science. 428. 2000
- Characterisation of ion-assisted pulsed laser deposited cubic boron nitride films. Thin Solid Films. 256. 1999
- Characterisation of pulsed laser deposited h-BN films and h-BN/c-BN layer systems. Thin Solid Films. 105. 1999
- Ionengestützte Laserpulsabscheidung von kubischen Bornitridschichten. Lasermagazin. 27. 1999
- Pulsed laser deposition of hexagonal and cubic boron nitride films. Applied Physics A. 749. 1999
- Microstructure and Mechanical Properties of Pulsed Laser Deposited Cubic Boron Nitride Films. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 107-116. 1998
- Pulsed Laser Deposition and Modification of Cubic Boron Nitride Films. Applied Surface Science. 444-450. 1998
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- Absorption and Laser Damage Threshold Studies of Ion Assisted Pulsed Laser Deposited Oxide Films. Proceedings of SPIE. 364-373. 1996
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- Deposition of optical coatings by pulsed laser ablation. Laser-Induced Thin Film Processing. 212-222. 1995
- Influence of LN2 substrate cooling on optical properties of laser pulse deposited oxide films. Applied Surface Science. 114-121. 1995
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- Laser induced structural modifications of excimer laser ablated carbon films. Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films. 686. 1994
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- Optical Properties of Laser Ablated Amorphous Carbon Films. Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida. 1994
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- Properties of Laser-Pulse Deposited Oxide-Films. Thin Solid Films. 119-125. 1994
- Laser-Induced Structural Phase-Changes in i-Carbon Films. Applied Surface Science. 317-321. 1992
- Mechanical and optical properties of BN-films. Thin Solid Films. 59-67. 1992
- Lasermodifizierung von Schichten und Festkörperoberflächen. Wer macht was - in den Physikalischen Technologien. 270. 1990
- Optische und strukturelle Eigenschaften von i-Kohlenstoffschichten. Tagungsband der 10. Internationalen Tagung Hochvakuum, Grenzflächen/Dünne Schichten. 176. 1990
Konferenzposter
- Ablation von SiO2 mit hochfrequenten Pulsfolgen ultrakurzer Laserpulse. DVS Berichte. 2022
- Duale Oberflächenbearbeitung mittels ultrakurzer Pulse im Burst Modus 2021
- Grundlagen zur laserinduzierten Schockwellenanregung in Asphaltkörpern. Scientific Reports 2021, 12. Mittweidaer Lasertagung. 2021
- Vergleichende Untersuchungen zum Abtrag von Stahl und Eisen mit Pikosekundenlaserpulsen im Burst-Modus 2017
- Multi-Burst Mode Picosecond Laser Processing of Steel 2014
Sammelbandbeitrag
- Direct Laser Fabrication of Cylindrical Lenses in Wide Band Gap Materials. EPJ Web of Conferences. 03001. 2019
- Investigation on the Ablation of thin Metal Films with Femtosecond to Picosecond-pulsed Laser Radiation. Physics Procedia. 93-103. 2016
Zeitschrift
- UV-Excimerlaser zur gepulsten Laserabscheidung von Hartschichten. Analytik NEWS. 2019

betreut/e wissenschaftliche Arbeit

Promotion
- Laserstrukturierung von Mikroprägewerkzeugen und Abformung beugungsoptisch wirksamer Gitterstrukturen bearbeitet durch Engel, Andy 2013 - 2020
- Promotion von Katja Günther bearbeitet durch Günther, Katja 2013 - 2014

hat Großgeräte

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