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Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD); Untersuchung von PLD-Anlagenkomponenten und Optimierung der Eigenschaften industrierelevanter Schichtmaterialien
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Projektbeteiligte
Weißmantel, Steffen
Projektleitung
Laufzeit
März 1, 2013 - Februar 28, 2015
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Projektnummer
8231012
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie