Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD); Untersuchung von PLD-Anlagenkomponenten und Optimierung der Eigenschaften industrierelevanter Schichtmaterialien Drittmittelprojekt uri icon

Laufzeit

  • März 1, 2013 - Februar 28, 2015

Projektnummer

  • 8231012