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Microstructuring of Pyrex glass and polymers by excimer laser
Konferenzpaper
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Überblick
AutorInnen
Keiper, B.
Ebert, Robby
Böhme, R.
Exner, Horst
Veröffentlichungszeitpunkt
2003
veröffentlicht in
Proceedings of SPIE
Konferenzband
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Band
5116
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20
letzte Seite
27
Identität
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/0.1117/12.499002
Intern
Schlagwort Lasertechnologien (falls zutreffend)
Lasermikrobearbeitung