Laser Bending of Silicon – a New Technology for Microsystems Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Lasermikrobearbeitung

AutorInnen

Exner, Horst
Löschner, Udo
Frühauf, J.
Gärtner, E.

Veröffentlichungsjahr

2003

Beitrag veröffentlicht in

Forschungsbericht Hochschule Mittweida 2003 Arbeitspapier/Forschungsbericht

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