Laser induced structural modifications of excimer laser ablated carbon films Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Lasermikrobearbeitung

AutorInnen

Keiper, B.
Reiße, G.
Weißmantel, Steffen

Veröffentlichungszeitpunkt

1994

veröffentlicht in

Proceedings of 4th International Symposium on Trends and New Applications in Thin Films and 11th Conference on High Vacuum, Interfaces and Thin Films Konferenzband

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