Improved Silicon Master Tools for Hot Embossing Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Laserpulsabscheidung (PLD)

AutorInnen

Baum, M.
Nestler, J.
Rost, D.
Weißmantel, Steffen
Otto, T.
Reisse, G.
Geßner, T.

Veröffentlichungszeitpunkt

2005

veröffentlicht in

Proceedings of Micro System Technologies Konferenzband

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