Mikrostrukturierung mittels Fluorlaser und KrF-Excimerlaser Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Lasermikrobearbeitung

AutorInnen

Hähnel, F.
Weißmantel, Steffen
Reiße, G.
Böttcher, R.
Löschner, Udo

Veröffentlichungszeitpunkt

2006

veröffentlicht in

Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida Konferenzband

Ausgabe

5

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