Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Laserpulsabscheidung (PLD)

AutorInnen

Weißmantel, Steffen
Rost, D.
Reiße, G.
Nieher, Maren

Veröffentlichungsjahr

2006

Beitrag veröffentlicht in

Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida Konferenzband

Ausgabe

5

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