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Selective ablation of ultrathin aluminium film on silicon substrate using ultrashort pulse laser radiation
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Schlagwort Lasertechnologien
Lasermikrobearbeitung
AutorInnen
Pabst, Linda
Ebert, Robby
Exner, Horst
Veröffentlichungsjahr
2019
Beitrag veröffentlicht in
Ultrafast Optics 2019: Abstract Book, Proceedings of SPIE
Konferenzband
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Band
11370