Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauele- menten, Teilprojekt: Ultraschnelle in situ-Analyse von Annealing-Prozessen mittels Pump-Probe Messtechnik Drittmittelprojekt uri icon

Laufzeit

  • Juni 1, 2022 - Dezember 31, 2024

Projektnummer

  • 8270202

Förderkennzeichen des Mittelgebers

  • 03EE1125B

Mittelgeberkategorie