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Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauele- menten, Teilprojekt: Ultraschnelle in situ-Analyse von Annealing-Prozessen mittels Pump-Probe Messtechnik
Drittmittelprojekt
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Projektbeteiligte
Horn, Alexander
Projektleitung
Laufzeit
Juni 1, 2022 - Dezember 31, 2024
Weitere Informationen Zum Projekt
Projektnummer
8270202
Förderkennzeichen des Mittelgebers
03EE1125B
Drittmittelgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz
Mittelgeberkategorie
Bund