Abstract
- Die Herstellung von Mikrostrukturen mittels ultrakurzer Laserpulse in unterschiedlichsten Materialien ist ein Fertigungsverfahren, das in den letzten Jahren zunehmend an Bedeutung gewonnen hat. Ein dabei auftretendes Problem sind die maximal erreichbaren Wandwinkel der Mikrostrukturen. Aufgrund der derzeit verwendeten Bearbeitungsstrategien, bei denen überlappende Bearbeitungslinien, bestehend aus sich ebenfalls überlappenden Laserpulsen, zur Erzeugung des erforderlichen Volumenabtrags verwendet werden, sind die maximal erreichbaren Wandwinkel begrenzt. Die hier vorgestellten Untersuchungen und die dabei erzielten Ergebnisse zeigen Einflussgrößen auf, mit denen die erzeugbaren Wandwinkel erhöht werden können. Dabei konnten sowohl Laserparameter als auch Bearbeitungsstrategien identifiziert werden, mit denen Mikrostrukturen mit Wandwinkeln von bis zu 90° realisiert werden können.