Abstract
- Die außergewöhnlichen mechanischen und chemischen Eigenschaften superharter ta-C-Beschichtungen eröffnen vielfältige Anwendungsmöglichkeiten. Einschränkungen wie hohe Unterschiede in der Steifigkeit zwischen Schicht und Substrat, unzureichende Zähigkeit, begrenzte Haftung und interne Spannungen schränken jedoch ihre breitere Nutzung ein. In dieser Studie wurden superharte, wasserstofffreie a-C/ta-C-Multischichtsysteme durch Excimer Laserpulsabscheidung (Pulsed Laser Deposition PLD) hergestellt, um deren mechanische Eigenschaften im Vergleich zu ta-C-Einzelschichten zu optimieren. Die sp2/sp3-Hybridisierung der Kohlenstoffschichten wurde mittels Raman-Spektroskopie untersucht, während mechanische Eigenschaften durch Nanoindentation und tribologische Pin-on-Disk-Messungen analysiert wurden. Die Ergebnisse zeigen, dass Variationen in der Anzahl und der Dicke der Subschichten die Haftung signifikant verbessern, während die mechanischen Eigenschaften der a-C/ta-C-Multischichtsysteme, mit denen von Einzelschichten vergleichbar sind.