Erzeugung von spannungsarmen Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN) mittels Laserpulsabscheidung (PLD) und Laserpuls-Entspannung Konferenzpaper

AutorInnen

Veröffentlichungszeitpunkt

2025

veröffentlicht in

Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida, Nr. 1, 2025 Konferenzband

präsentiert während

14. Mittweidaer Lasertagung Konferenz

International Standard Serial Number (ISSN )

1437-7624