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Anwendungsgebiet
Erzeugung dünner Schichten mittels PLD
Nutzungsbedingung
nur von geschultem Personal zu bedienen
hergestellt von
3D-Micromac AG
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Verantwortlichkeit
Weißmantel, Steffen
Prof. Dr. rer. nat.
untergebracht in der Einrichtung
42-016