Untersuchungen zur Entwicklung von industrietauglichen PLD-Verfahren und -Anlagen (EIVA-PLD); Untersuchung von PLD-Anlagenkomponenten und Optimierung der Eigenschaften industrierelevanter Schichtmaterialien Drittmittelprojekt uri icon

Laufzeit

  • März 1, 2013 - Dezember 31, 2016

Projektnummer

  • 8231012

Förderkennzeichen des Mittelgebers

  • KF2886903WO2

Mittelgeberkategorie