Abstract
- SemI40 ist ein EU-Projekt im Rahmen von Horizon 2020 unter der Federführung von Infineon (Österreich). Die Produktion von Wafern muss in Deutschland zunehmend automatisiert werden um wettbewerbsfähig zu bleiben. Die Fab (Fertigungsanlage) von morgen wird nur noch wenige Mitarbeiter haben, die Prozesse überwachen. Diese Aufgaben müssen zunehmend von Verfahren der digitalen Bildverarbeitung übernommen werden. Je früher Fehler in der Produktion erkannt werden, desto eher lassen sich vorverarbeitete Wafer noch retten und Prozesse anpassen. Im Rahmen dieses Projekts werden wir einem bestehenden Process Control System neue Möglichkeiten der visuellen Überwachung hinzufügen. Dieses arbeitet bisher nur mit skalaren Messungen. Der Fokus der Forschung liegt in der Entwicklung einfacher Systeme die Standardkameras verwenden, die auch von ungeschulten Mitarbeitern mit einem Minimum an Kalibrierung und unter gegebenen Lichtverhältnissen, perspektivischen Verzerrungen etc. arbeiten können.