Preparation of superhard amorphous carbon films with low internal stress Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Laserpulsabscheidung (PLD)

AutorInnen

Weißmantel, Steffen
Reiße, G.
Rost, D.

Veröffentlichungsjahr

2004

Beitrag veröffentlicht in

Surface and Coatings Technology Zeitschrift

Zugangsrechte

false

Band

188-189

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268

Digital Object Identifier (DOI)

https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.08.070