Improved Silicon Master Tools for Hot Embossing Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Laserpulsabscheidung (PLD)

AutorInnen

Baum, M.
Nestler, J.
Rost, D.
Weißmantel, Steffen
Otto, T.
Reisse, G.
Geßner, T.

Veröffentlichungsjahr

2005

Beitrag veröffentlicht in

Proceedings of Micro System Technologies Konferenzband

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