Erzeugung von superharten amorphen Kohlenstoffschichten mit niedrigen inneren Spannungen durch sukzessives Laserpulsabscheiden und –tempern Journalartikel
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AutorInnen
Veröffentlichungsjahr
- 2006
Beitrag veröffentlicht in
- Galvanotechnik Zeitschrift
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Band
- 97
Ausgabe
- 4
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- 948