Laserpulsabscheidung von spannungsfreien superharten amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) Konferenzpaper

Schlagwort Lasertechnologien

Laserpulsabscheidung (PLD)

AutorInnen

Weißmantel, Steffen
Rost, D.
Reiße, G.
Nieher, Maren

Veröffentlichungszeitpunkt

2006

veröffentlicht in

Scientific Reports, Journal of the University of Applied Sciences Mittweida Konferenzband

Ausgabe

5

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